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在电子、制药、医疗器械等行业的洁净室中，臭氧常被用于空间消毒与表面杀菌，其强氧化性可高效杀灭细菌、病毒等微生物，保障洁净环境达标。但臭氧浓度过高会对人体呼吸道、精密设备及产品质量造成危害，因此需通过专业检测设备实现精准管控。以下是洁净室臭氧检测仪的完整应用解决方案。

一、洁净室臭氧风险与检测需求

潜在风险：洁净室臭氧消毒后若残留浓度超过 0.1ppm(8 小时暴露限值)，会刺激操作人员的呼吸道黏膜;在电子行业洁净室中，高浓度臭氧可能氧化电路板表面镀层，导致产品报废;制药行业中，臭氧残留还可能影响药品稳定性。此外，臭氧的扩散性强，若空调系统未充分置换，易在角落形成浓度积聚。

检测核心需求：需实现0-10ppm量程内的高精度检测(分辨率≤0.01ppm)，响应时间≤10 秒，且设备需满足洁净室的无尘、耐腐蚀、低电磁干扰要求，同时支持实时数据传输与超标报警，确保消毒后浓度快速降至安全值。

二、产品资料

SGA-500B-O3臭氧检测仪是深国安运用十多年技术经验，独立研发设计的一款固定式、液晶显示型臭氧检测仪。信号默认为4-20mA电流输出。产品运用当前最先进的微电子处理技术，搭配国外原装进口气体传感器，可快速、准确地检测目标气体。产品为气体检测行业的智能三防设计：防高浓度过载(带自我保护功能)、防止人员误操作(内置按键+可还原出厂设置)、防雷击(三级标准)。本质安全型电路设计，配备铝合金防爆外壳，即使恶劣环境下，也能安全使用。

三、安装布局与系统集成方案

固定式安装方案

1.布点逻辑：在臭氧发生器出风口、回风口、洁净区关键工位(如电子芯片光刻区、无菌灌装线)各部署 1 台检测仪，层高 3 米以上的空间增设顶部监测点，确保气流死角全覆盖。相邻设备间距≤5 米，采用支架悬空安装(离地 1.5-2 米)，避免接触墙面产生干扰。

2.布线要求：采用屏蔽双绞线穿 PVC 洁净管布线，接口处做密封处理，防止臭氧腐蚀线路;电源选用 DC 24V 隔离电源，减少电磁干扰对精密仪器的影响。

3.移动巡检方案：配置便携式臭氧检测仪(重量≤240g)，配备可充电锂电池(续航≥18小时)，用于消毒后的局部区域复检(如高效过滤器附近、设备底部)，数据可通过蓝牙同步至移动端，生成巡检报告。

4.系统联动：臭氧检测仪与臭氧发生器、空调系统联动，当浓度超过 0.1ppm 时，自动关闭臭氧发生器并启动新风置换;超标信号同步发送至监控中心，触发声光报警与短信通知，确保 30 分钟内浓度降至安全值以下。

四、应用场景与实际效益

电子行业洁净室：在半导体晶圆厂的光刻洁净室中，臭氧用于光刻胶去除工艺，检测仪实时监测浓度(控制在 0.5-2ppm)，避免浓度过高导致晶圆氧化。某工厂通过该方案，产品良率提升 1.2%，每年减少损失超 300 万元。

制药无菌车间：在生物制药的 B 级洁净区，臭氧消毒后需快速降至 0.05ppm 以下方可进行生产。检测仪联动空调系统实现自动置换，将消毒后恢复时间从 2 小时缩短至 45 分钟，提升生产效率 40%。

医疗洁净手术室：术后臭氧消毒过程中，检测仪实时监控浓度(维持在 5-8ppm)，确保消毒效果的同时，在人员进入前 30 分钟自动启动排风，保障医护人员健康。