什么是智能型MOS气体传感器
发布时间：2022-05-07
作者：深国安电子
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什么是智能型MOS气体传感器呢?其原则上可直接称为半导体气体传感器，不过注意，MOS气体传感器只是属于半导体传感器的一个分类，目前半导体气体传感器，按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分为表面控制型和体控制型两种，其次还按照半导体变化的物理性质，又可分为电阻型和非电阻型两种。而MOS气体传感器是属于非电阻型传感器这类型的，它是利用mos二极管的电容，以及电压特性的变化以及mos场效应晶体管的阈值电压变化等特性而制成的气体传感器。
MOS气体传感器具体工作原理：是根据对气体的吸附和反应，使半导体的某些特性发生变化对气体进行直接或间接检测。由于这类传感器的制造工艺成熟，便于器件集成化，因而其性能稳定价格便宜，但也存在一个弊端，就是使用寿命短。目前智能型MOS气体传感器多数的用途都是用于测可燃气体，例如测甲烷、液化气、氢气、乙烯等气体。
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