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深国安三氟化氮百科检测产品专栏

三氟化氮百科

三氟化氮化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。三氟化氮是低毒性物质,但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡,但出现高铁血红蛋白血症,当吸入10000ppm·l小时有死亡,在2500ppm时吸毒后4小时死亡。最高容许浓度:10ppm(29mg/m3)。

三氟化氮检测仪

  • 手提式多参数三氟化氮气体分析仪

    SGA-608系列手提泵吸式多参数三氟化氮气体分析仪是深国安运用十多年气体检测仪生产经验,自主研发生产的一款多组份三氟化氮气体检测仪表;产品可根据客户需要,任意组合1-6种目标气体,并可增配PM2.5、PM10、温度、湿度共十项监测指标;产品内置大容量...

  • 新款固定式单一三氟化氮气体检测仪

    SGA-501系列三氟化氮气体检测仪是深国安(股票代码:681434)运用十多年技术经验,自主研发生产的一款功能强悍、外观新颖、品质卓越的工业级三氟化氮气体检测仪表;实时在线监测,超标自动声光报警,还可通过内置继电器自动联动设备,排除险情;并支持4-20...

  • 三氟化氮在线监测系统

    SGA-900-NF3三氟化氮在线监测系统是深国安电子运用十多年气体监测生产经验,依照相关标准,专门针对垃圾处理、污水站、固定污染源、化工园区厂界等容易产生三氟化氮的场所,自主研发生产的一款实三氟化氮气气体浓度在线监测系统;SGA-900-NF3三氟化...

  • 新款固定式二合一三氟化氮气体检测仪

    SGA-502系列三氟化氮二合一气体检测仪是深国安(股票代码:681434)运用十多年气体检测仪生产经验,针对多组合气体检测需求所研发生产的一款二合一气体检测仪表;产品可根据客户需要任意搭配1-2种气体组合,气体种类不限,检测量程不限,采样方式不限;实时...

  • 智能型三氟化氮气体传感器模组

    SGA-400/700系列智能型三氟化氮气体传感器模组是深国安电子自主研发生产的一款标准化、模块化气体检测产品;主要为解决气体检测种类繁多、各品牌气体传感器互不兼容、生产标定复杂、核心元器件更换受限等问题;采用我司生产的SGA-400/700系列智能型三氟...

  • 固定式六合一三氟化氮气体检测仪

    SGA-502/504/506系列固定式多合一三氟化氮气体检测仪是深国安运用十多年气体检测仪生产经验,专门针对多组合气体检测需求所研发生产的一款多参数气体检测仪表;产品可根据客户需要任意搭配1-6种气体组合,气体种类不限,检测量程不限,采样方式不限;12-30...

  • 无线固定式六合一三氟化氮气体检测仪

    SGA-501C/502C/504C/506C系列无线多合一三氟化氮气体检测仪是深国安将十多年气体检测仪生产经验与无线传输技术有机融合,自主研发生产的一款、性能稳定、安全可靠的无线气体检测仪表;产品无需布线,即可无界限地实现数据无线远传;无论您身在何处,都...

  • 固定一体泵吸式五合一三氟化氮气体检测仪

    SGA-501B/503B/505B系列固定一体泵吸式多合一三氟化氮气体检测仪是深国安运用十多年气体检测仪生产经验,专门针对多组合气体检测需求所研发生产的一款多参数气体检测仪表;产品可根据客户需要任意搭配1-5种气体组合,气体种类不限,检测量程不限;内置一...

  • 无线便携式六合一三氟化氮气体检测仪

    SGA-606系列便携式六合一三氟化氮气体检测仪是深国安运用十多年气体检测仪生产经验与先进无线传输技术相结合,专门针对多气体检测需求的客户所研发生产的一款手持便携、本安防爆、监测报警、智慧物联为一体的无线手持式多合一气体检测仪表;产品可根据客户...

  • 无线三氟化氮气体检测仪

    SGA-501C/502C/503C/504C系列无线三氟化氮气体检测仪是深国安(股票代码:681434)将十多年气体检测仪生产经验与无线传输技术有机融合,自主研发生产的一款、性能稳定、安全可靠的无线气体检测仪表;产品无需布线,即可无界限地实现数据无线远传;无论您...

  • 便携泵吸式三氟化氮气体检测仪

    SGA-600系列便携式三氟化氮气体检测仪是深国安电子运用十多年气体探测器生产经验,聘请一流设计团队,独立自主研发生产(外观专利号:201730044723.6)的一款单手可握、方便移动的智能型气体检测仪表;是全球首款搭载智能光感控制,集气体、温度、湿度、时...

  • 经典在线式三氟化氮气体检测仪

    SGA-500系列在线式三氟化氮气体检测仪是深国安电子完全依照工业级设计标准,自主研发生产的一款防爆型气体检测仪表;不仅获得国家防爆电气产品质量监督检测中心颁发的防爆合格证(防爆证编号:CNEx19.1790X,同时还是国内气体探测器(也叫气体变送器、...

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